Index Time

•  50sec (Material Change Time excluded  ex: Magazine, Film others...)

Insert Type

•  Wafer : Magazine Type            • Film : Roll To Roll

Loader

•  WISOL only Magazine Applied            • 4inch Wafer only

•  Product Presence  Check Sensor : Sensor

Robot

•  Mechanical structure type : cylindrical coordinate type, control axis : 3axis

•  Z-Axis Stroke : 200mm            •  repeatability : within ±0.1mm

•  Wafer Maintenance : Vacuum Adhesion           • Wafer Detection : Vacuum Sensor

•  Chuck Material : Ceramic or User specified

Aligner

•  X-Theta Axis : Servo Motion        • Positioning accuracy : Centering Within ±0.2 mm

•  Sensor : Limited Reflective Fiber Sensor Fiber Sensor

Loader(Film)

•  Supply Actuator : AC Motor             • Roll Fixture : Clip

•  Film Supply Stopper : Linear Cylinder

•  Film Tension Maintenance : Linear Cylinder

•  Amendment Paper Collecting Actuator : AC Motor + Torque Motor 

Feeder (Film)

•  Feeding Y Axis : Servo Motion            • Mechanism : Ball Screw + LM Guide

•  Gripper Actuator : Linear Air Cylinder        

•  Gripper Chuck Material : Urethane Series        • Roller Feeding Axis : Servo Motion         •  Mechanism : Ball Screw + LM Guide        • Roller Actuator : Linear Air Cylinder     

•  Roller Material : Silicon Series         • Roller Temperature range : Normal temperature ~ 60℃

Cutter Stage

(Film Cutter)

•  Z Axis : Servo Motion                                  • Mechanism : Ball Screw + LM Guide

•  Film Maintenance : Vacuum Adhesion          • Film Detection : Vacuum Sensor

•  Chuck Material : Aluminum          • Chuck Temperature range : Normal temperature ~ 80℃

•  Cutting method : Mechanical type      • Cutter Z Axis : Linear Air Cylinder

•  Cutter Theta Axis : Servo Motion           • Mechanism : Pulley + Belt

•  Cutter Material : Tool steel series         • Cutter Temperature range : Normal temperature ~ 80℃

Unloader (Film)

•  Supply Actuator : AC Motor + Torque Motor             • Roll Fixture : Clip

•  Film Tension Maintenance : Linear Cylinder

Packing Type

•  Wafer : Magazine Type            • Film : Roll To Roll

Machine Dimension

•  1,200mm(W)*1,200mm(L)*1,700mm(H)  Worker Height : 980mm

Weight

•  About 1,000 kg

Control

•  Main Control : PC,   Display : 17 inch Color Touch Panel     

•  User Data Management : Production & Faulty, Hours of Operation others... Count

Utility

•  Electric : 2Phase AC 200~230V, 50/60Hz      •  Air : 4 ~ 7 ㎏/㎠