Index Time

•  UPH 35sheet (Material Change Time excluded  ex: Magazine, Film others...)

Insert Type

•  Wafer : Magazine Type                     •  Film : Roll To Roll

Loader

•  WISOL only Magazine Applied      •  4inch Wafer only

•  Product Presence  Check Sensor : Sensor

Robot

•  Mechanical structure type : cylindrical coordinate type, control axis : 3axis

•  Z-Axis Stroke : 200mm          •  repeatability : within ±0.1mm

•  Wafer Maintenance : Vacuum Adhesion        •  Wafer Detection : Vacuum Sensor

•  Chuck Material : Ceramic or User specified

Aligner

•  X-Theta Axis : Servo Motion       •  Positioning accuracy : Within ±1mm of the center

•  Sensor : Limited Reflective Fiber Sensor Fiber Sensor

Loader(Film)

•  Supply Actuator : AC Motor                   •  Roll Fixture : Clip

•  Film Supply Stopper : Linear Cylinder•  Film Tension Maintenance : Linear Cylinder

•  Amendment Paper Collecting Actuator : AC Motor + Torque Motor 

Feeder (Film)

•  Feeding Y Axis : Servo Motion

•  Mechanism : Ball Screw + LM Guide

•  Gripper Actuator : Linear Air Cylinder

•  Gripper Chuck Material : Urethane Series

•  Roller Feeding Axis : Servo Motion

•  Mechanism : Ball Screw + LM Guide

•  Roller Actuator : Linear Air Cylinder

•  Roller Material : Silicon Series

•  Roller Temperature range : Normal temperature ~ 60℃

Work Stage

(De-Tape)

•  X-Z Axis : Servo Motion            •  Mechanism : Ball Screw + LM Guide

•  Film Maintenance : Vacuum Adhesion         •  Film Detection : Vacuum Sensor

•  Chuck Material : Aluminum   •  Chuck Temperature range : Normal temperature ~ 80℃

Rotate & Align

•  Position : 2 Zone                             •   X-Y Axis : Servo Motion

•  Theta Axis : Servo Motion            •  Product direction adjustment accuracy : ±20㎛ 

Unloader (Film)

•  Supply Actuator : AC Motor + Torque Motor

•  Roll Fixture : Clip          •  Film Tension Maintenance : Linear Cylinder

Packing Type

•  Wafer : Magazine Type          •  Film : Roll To Roll

Machine Dimension 

•  1,200mm(W)*1,350mm(L)*1,800mm(H)  Worker Height : 980mm

Weight

•  About  1,300 kg

Control

•  Main Control : PC,   Display : 17 inch Color Touch Panel

•  User Data Management : Production & Faulty, Hours of Operation others... Count

Utility 

•  Electric : Single Phase AC  200~230[V],  50/60 [Hz] 

•  Air           : 4 ~ 7 ㎏ /㎠